Planet übernommen von Robotern

Ich suche den Titel von einem Film der vor gut 10 Jahren im Fernsehen lief. Der Film fing an das Roboter unter der Erde ( Wurmartig ) den Puls von Menschen aufspüren und diese dann töten, deswegen gab es Puls Unterdrückungsarmbänder. Anonsten erinnere ich mich nur das es dann immer bessere Roboter gab die am ende wie Menschen aussahen und deswegen keiner mehr dem anderen traute.